HOME ＞ 熱処理装置
 English

熱処理装置

独自のノウハウにより、熱処理に欠かせない安定した温度管理を実現しました。
最近注目のワイドギャップ半導体（ＧａＮ、等）向け熱処理装置もご好評頂いております。

オーミックアロイ装置

OS-5500・シリーズ（高温タイプ）

ワイドギャップ半導体（GaN、SiCなど）のオーミック電極アロイ、アニールに好適
OS-4500・シリーズ（中温タイプ）
各種のアロイ、アニールなどに好適

OS-3500・シリーズ（低温タイプ）

汎用化合物半導体（ＧａＡｓ系、ＩｎＰ系）のオーミック電極アロイ、アニールなどに好適

バッチ式アニール装置
CA-5200
化合物半導体に特化した多目的バッチ式アニール装置です。
基板温度は700℃まで対応可能で、3インチ基板14枚まで装着可能です。
また、処理室の移動機構を装備しており、加熱〜冷却までの間、処理室は密閉状態のまま行えます。
真空置換機構も装備しておりますので、固相拡散にもお使いいただけます。

縦型拡散装置
OD-2500
従来閉管内で行なわれていた亜鉛拡散プロセスを開管方式で行うため、閉管方式と同等の性能を持ちながらも安全性・操作性が格段に向上しております。
φ2インチまたはφ3インチウェハに対応し、5枚（最大10枚、2カセット処理にて）まで同時に処理できます。
また二重のトラップ構造により、機内廃棄を一般廃棄に接続可能です。

　
空白
オーミックアロイ装置
矢印 オーミックアロイ装置
矢印 バッチ式アニール装置
矢印 縦型拡散装置
汚染抽出装置
枚葉式両面洗浄装置
枚葉式リフトオフ装置
RCAウェット-光複合洗浄装置

レーザーアブレッシブＣＶＤ装置
ダイヤモンド成膜装置
ＡＬＤ装置
電子ビーム蒸着装置

全自動エッチング装置
多機能エッチング装置
化合物半導体用ドライエッチング装置
マルチ電極ドライエッチング装置

無電極高出力ＵＶ光照射装置
卓上型Deep UV光表面改質装置
ＵＶ光アッシング装置
ハードディスク表面改質装置

KOH異方性エッチング装置
マイクロマシン用陽極接合装置
電解めっき処理装置

空気イオンカウンタ
液中パーティクルカウンタ

マイクロチップ電気泳動装置
HandyMS（小型飛行時間型質量分析装置）

小型高電圧電源
多目的エッチング・アッシング装置
バックサイドエッチング装置
MEMS用常圧プラズマ装置

　
Copyright (c) 2007 Chemitronics Co., Ltd. All rights reserved