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UV光応用装置


Deep UV光による光化学反応を応用した装置です。基板表面の有機汚染物質を酸化除去する精密洗浄システムやUV光による表面改質を行います。また、独自の規格でUVランプの開発・製作が可能です。

無電極高出力UV光照射装置

E-285W
無電極高出力UV光を利用したイレーサー装置です。

卓上型Deep UV光表面改質装置

MUS-350HG
特殊低圧水銀灯を光源とし、炭素化合物の分解除去を目的としたコンパクトな卓上型装置です。

UV光アッシング装置

UA-560W
短波長紫外線により有機汚染物質を分解し、同時に生させた活性酸素で汚染物を気化させるため、液体の入りづらい細部にも有効なアッシングです。

ハードディスク表面改質装置

HD-810
半導体製造用に開発したUV光源を、ハードディスク製造に応用致しました。年々細密化するハードディスク製造に、半導体グレードの技術で対応致します。
 
空白
オーミックアロイ装置
矢印 オーミックアロイ装置
矢印 バッチ式アニール装置
矢印 縦型拡散装置
汚染抽出装置
枚葉式両面洗浄装置
枚葉式リフトオフ装置
RCAウェット-光複合洗浄装置

レーザーアブレッシブCVD装置
ダイヤモンド成膜装置
ALD装置
電子ビーム蒸着装置

全自動エッチング装置
多機能エッチング装置
化合物半導体用ドライエッチング装置
マルチ電極ドライエッチング装置

無電極高出力UV光照射装置
卓上型Deep UV光表面改質装置
UV光アッシング装置
ハードディスク表面改質装置

KOH異方性エッチング装置
マイクロマシン用陽極接合装置
電解めっき処理装置

空気イオンカウンタ
液中パーティクルカウンタ

マイクロチップ電気泳動装置
Chibi-MS(小型飛行時間型質量分析装置)

小型高電圧電源
多目的エッチング・アッシング装置
バックサイドエッチング装置
MEMS用常圧プラズマ装置

 
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