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特殊装置・受託開発装置


研究開発に必要な特殊仕様装置の開発・試作や各種研究開発用機器のご相談・注文を承ります。

小型高電圧電源

HVP-6000
出力が個別にON/OFFする事ができ、電圧がモニターにて目視可能です。質量分析装置及びバイオ関連にご利用頂けます。
(共同開発元:潟<ス・コア殿)

多目的エッチング ・ アッシング装置

PP-6000
実験から少量生産までをターゲットに開発した多目的エッチング装置です。机1個分以下の設置スペース(付帯機器を除く)で、ケミカルエッチングからプラズマエッチングまで対応可能です。
(受託開発元:三井物産エレクトロニクス鞄a)

バックサイドエッチング装置

PABE-303
高周波プラズマ中で活性化したガスを使用し、Siウェハの裏面をドライエッチングします。
(受託開発元:東京エレクトロン鞄a)

MEMS用常圧プラズマ装置

KAP-1000
独自の常圧・高密度プラズマ発生源を使用し、低温下で高速に絶縁膜の形成を可能にしました。
(共同開発元:積水化学工業鞄a)
 
空白
オーミックアロイ装置
矢印 オーミックアロイ装置
矢印 バッチ式アニール装置
矢印 縦型拡散装置
汚染抽出装置
枚葉式両面洗浄装置
枚葉式リフトオフ装置
RCAウェット-光複合洗浄装置

レーザーアブレッシブCVD装置
ダイヤモンド成膜装置
ALD装置
電子ビーム蒸着装置

全自動エッチング装置
多機能エッチング装置
化合物半導体用ドライエッチング装置
マルチ電極ドライエッチング装置

無電極高出力UV光照射装置
卓上型Deep UV光表面改質装置
UV光アッシング装置
ハードディスク表面改質装置

KOH異方性エッチング装置
マイクロマシン用陽極接合装置
電解めっき処理装置

空気イオンカウンタ
液中パーティクルカウンタ

マイクロチップ電気泳動装置
Chibi-MS(小型飛行時間型質量分析装置)

小型高電圧電源
多目的エッチング・アッシング装置
バックサイドエッチング装置
MEMS用常圧プラズマ装置

 
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