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エッチング装置


ウェットエッチング、ドライエッチングを問わず、幅広い用途に対応すべく豊富な技術と装置をご提供致します。

全自動エッチング装置

L-05
ウェットエッチング工程を自動化し、枚葉処理方式を採用。GaAsウェハのリセスエッチング、薄膜磁気ヘッドのメタル膜エッチング等に最適です。
有機洗浄にもお使いいただけます。
(対応基板 φ4インチ〜φ6インチ)

多機能エッチング装置

CM-600
オプションの選択によりケミカルエッチングからプラズマエッチングまでこなせる拡張性をもっております。実験装置・少量生産設備にお使い頂けます。
(オプション仕様)

化合物半導体用ドライエッチング装置

RDE-150
GaN、SiC,ZnOなどのワイドギャップ化合物半導体用ケミカルドライエッチング装置です。

マルチ電極ドライエッチング装置

SR-1000
大面積化にも対応可能な複数電極型のドライエッチング装置です。発振周波数の最適化により、複数電極を可能と致しました。パワーを最適化することにより、アッシング、洗浄、テクスチャリング装置としても対応が可能です。
 
空白
オーミックアロイ装置
矢印 オーミックアロイ装置
矢印 バッチ式アニール装置
矢印 縦型拡散装置
汚染抽出装置
枚葉式両面洗浄装置
枚葉式リフトオフ装置
RCAウェット-光複合洗浄装置

レーザーアブレッシブCVD装置
ダイヤモンド成膜装置
ALD装置
電子ビーム蒸着装置

全自動エッチング装置
多機能エッチング装置
化合物半導体用ドライエッチング装置
マルチ電極ドライエッチング装置

無電極高出力UV光照射装置
卓上型Deep UV光表面改質装置
UV光アッシング装置
ハードディスク表面改質装置

KOH異方性エッチング装置
マイクロマシン用陽極接合装置
電解めっき処理装置

空気イオンカウンタ
液中パーティクルカウンタ

マイクロチップ電気泳動装置
Chibi-MS(小型飛行時間型質量分析装置)

小型高電圧電源
多目的エッチング・アッシング装置
バックサイドエッチング装置
MEMS用常圧プラズマ装置

 
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