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MEMS関連装置


半導体製造装置の製造や研究開発技術のノウハウを有効に生かし、マイクロマシン関連の専用製造装置の製造およびプロセス技術の研究開発を行っております。

KOH異方性エッチング装置

BE-112
異方性エッチングに優れているKOHプロセスを、MEMSに特化した仕様にてご供給致します。
MEMSプロセスに相応しい装置サイズにする事により、省スペース・ローコストが可能となりました。


マイクロマシン用陽極接合装置

AC-9400
アライメントから接合まで、真空中で一貫処理のオールインワン型の装置です。アライメント部の基板処理はプラズマクリーニングです。
(対応基板 φ4インチ〜φ6インチ)

電解めっき処理装置

UME-H100
最大6インチまでのSiやガラス基板の貫通孔、深溝などに対してCu、Niなどの埋め込みめっきを行います。
独自のノウハウで基板面のめっき量を均一にしました。
(プロセス開発元:潟<ス・コア殿)
 
空白
オーミックアロイ装置
矢印 オーミックアロイ装置
矢印 バッチ式アニール装置
矢印 縦型拡散装置
汚染抽出装置
枚葉式両面洗浄装置
枚葉式リフトオフ装置
RCAウェット-光複合洗浄装置

レーザーアブレッシブCVD装置
ダイヤモンド成膜装置
ALD装置
電子ビーム蒸着装置

全自動エッチング装置
多機能エッチング装置
化合物半導体用ドライエッチング装置
マルチ電極ドライエッチング装置

無電極高出力UV光照射装置
卓上型Deep UV光表面改質装置
UV光アッシング装置
ハードディスク表面改質装置

KOH異方性エッチング装置
マイクロマシン用陽極接合装置
電解めっき処理装置

空気イオンカウンタ
液中パーティクルカウンタ

マイクロチップ電気泳動装置
Chibi-MS(小型飛行時間型質量分析装置)

小型高電圧電源
多目的エッチング・アッシング装置
バックサイドエッチング装置
MEMS用常圧プラズマ装置

 
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