ケミトロニクスは、多様化する半導体プロセスのニーズに柔軟な開発力が生み出す新技術と新製品でお答えします。
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About us
　

国内各機関で研究経験を持つスタッフが、先端電子工業および精密化学工業に関する新技術と新製品の開発を目的とする装置開発をしております。
　

熱処理装置

ウェット処理装置

成膜装置
熱処理装置
オーミックアロイ装置
バッチ式アニール装置
縦型拡散装置
　 　
　 　
ウェット処理装置
汚染抽出装置
枚葉式両面洗浄装置
枚葉式リフトオフ装置
RCAウェット・光複合洗浄装置
成膜装置
レーザーアブレッシブCVD装置
ダイヤモンド成膜装置
ALD装置
電子ビーム蒸着装置

エッチング装置

ＵＶ光応用装置

ＭＥＭＳ関連装置
エッチング装置
全自動エッチング装置
多機能エッチング
化合物半導体ドライエッチング装置
マルチ電極 ドライエッチング装置
ＵＶ光応用装置
無電極高出力UV光照射装置
卓上型Deep UV光表面改質装置
UV光アッシング装置
ハードディスク表面改質装置
ＭＥＭＳ関連装置
ＫＯＨ異方性エッチング装置
マイクロマシン用陽極接合装置
電解めっき処理装置
　 　

検査・測定装置

バイオ・分析装置

特殊・受託開発
検査・測定装置
空気イオンカウンタ
液中パーティクルカウンタ

　　
　 　
　 　
バイオ・分析装置
マイクロチップ電気泳動装置
HandyMS（小型飛行時間型質量分析装置）
　 　
　 　
特殊・受託開発
小型高電圧電源
多目的エッチング装置、アッシング装置
バックサイドエッチング装置
ＭＥＭＳ用常圧プラズマ装置

[2007.11.01]
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株式会社　ケミトロニクス

東京都
武蔵村山市伊奈平2-57-2
TEL　042-520-3770
FAX　042-520-3778

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