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検査・測定装置


目視検査装置から汚染分析装置まで、時代のニーズに応える検査・測定装置を開発・製作しております。

空気イオンカウンタ

SC-50
空気中に存在する正負の小イオンを(1cc中1個測
定可)測定する装置です。

液中パーティクルカウンタ

TLD-200
半導体レーザーを用いて錯乱光により、液体中の0.2ミクロン以上の微粒子の粒子径と個数を測定する装置です。
 
空白
オーミックアロイ装置
矢印 オーミックアロイ装置
矢印 バッチ式アニール装置
矢印 縦型拡散装置
汚染抽出装置
枚葉式両面洗浄装置
枚葉式リフトオフ装置
RCAウェット-光複合洗浄装置

レーザーアブレッシブCVD装置
ダイヤモンド成膜装置
ALD装置
電子ビーム蒸着装置

全自動エッチング装置
多機能エッチング装置
化合物半導体用ドライエッチング装置
マルチ電極ドライエッチング装置

無電極高出力UV光照射装置
卓上型Deep UV光表面改質装置
UV光アッシング装置
ハードディスク表面改質装置

KOH異方性エッチング装置
マイクロマシン用陽極接合装置
電解めっき処理装置

空気イオンカウンタ
液中パーティクルカウンタ

マイクロチップ電気泳動装置
Chibi-MS(小型飛行時間型質量分析装置)

小型高電圧電源
多目的エッチング・アッシング装置
バックサイドエッチング装置
MEMS用常圧プラズマ装置

 
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