ケミトロニクスは、多様化する半導体プロセスのニーズに柔軟な開発力が生み出す新技術と新製品でお答えします。
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UVランプ C-600UZ販売中止のお知らせ

UVランプC-600UZは長年ご愛顧いただいてきましたが出荷数量の
減少により部品発注に必要な最小ロットの確保が困難になりまし
た不本意ではありますが2017年3月を持ちまして販売中止とさせ
て頂きます何卒諸事情をご賢察の上ご理解お願い申し上げます。
                           担当 技術部 木下
   

About us

 

・国内各機関で研究経験を持つスタッフが、先端電子工業および精密化学工業に関する新技術と新製品の開発を目的とする装置開発をしております。

・装置開発には装置に応じた配管を必要とします。弊社スタッフは目的に応じて最適な機能・形状をもった配管を製作しております。

・装置開発ならびに配管製作のご要望にも応じますので、お気軽に声をおかけ下さい。

 
  配管

   

熱処理装置

ウェット処理装置

成膜装置

熱処理装置
オーミックアロイ装置
バッチ式アニール装置
縦型拡散装置
   
   
ウェット処理装置
汚染抽出装置
枚葉式両面洗浄装置
枚葉式リフトオフ装置
RCAウェット・光複合洗浄装置
成膜装置
レーザーアブレッシブCVD装置
ダイヤモンド成膜装置
ALD装置
電子ビーム蒸着装置

エッチング装置

UV光応用装置

MEMS関連装置

エッチング装置
全自動エッチング装置
多機能エッチング
化合物半導体ドライエッチング装置
マルチ電極 ドライエッチング装置
UV光応用装置
無電極高出力UV光照射装置
卓上型Deep UV光表面改質装置
UV光アッシング装置
ハードディスク表面改質装置
MEMS関連装置
KOH異方性エッチング装置
マイクロマシン用陽極接合装置
電解めっき処理装置
   

検査・測定装置

バイオ・分析装置

特殊・受託開発

検査・測定装置
空気イオンカウンタ
液中パーティクルカウンタ

  

   
   
バイオ・分析装置
マイクロチップ電気泳動装置
Chibi-MS(小型飛行時間型質量分析装置)
   
   
特殊・受託開発
小型高電圧電源
多目的エッチング装置、アッシング装置
バックサイドエッチング装置
MEMS用常圧プラズマ装置

   熱処理システムの
   特許を取得しました。
 【 特許第475420号 】
株式会社 ケミトロニクス

東京都
武蔵村山市伊奈平2-57-2
TEL 042-520-3770
FAX 042-520-3778


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