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多様なニーズにお応えすべく、次世代プロセスの方向性を探る実験設備＜CTT＞。
自社開発製品の性能評価試験はもちろん、特殊プロセスの受託や研究用サンプル作成も承ります。 |
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ラボ レイアウト
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| ANNEALING
& DOPING |
WET PROCESS |
PHOTO &
LITHO PROCESS |
オーミックアロイ装置
化合物半導体用縦型拡散装置
酸化炉 |
超精密ウェットエッチング装置
オゾン水エッチング装置
リフトオフ装置
無機ドラフトチャンバ
有機ドラフトチャンバ |
スピンコータ
両面マスクアライナー
露光機 |
| UTILITY |
CVD & THIN
FILM |
DRY ETCHING PROCESS |
純水精製装置
除害装置
ウォータースクラバー |
低圧プラズマCVD装置
大気圧プラズマCVD装置
レーザーCVD装置
MOCVD装置
CVD装置（12”）
CVD装置（6”）
蒸着装置
EB蒸着装置
三元スパッタ装置
Tiスパッタ装置
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ドライエッチング装置（12”）
ドライエッチング装置（8”）
ドライエッチング装置（4”）
DeepRIE装置
犠牲層ドライエッチング装置
コンパクトエッチャー
イオンミリング装置
レーザー加工機 |
| OBSERVATION & MEASUREMENT |
FTIR
SEM（+EDX）
深度顕微鏡計
非接触段差計
非接触膜厚計
段差測定器
干渉式金属顕微鏡
実体顕微鏡
プローバー |
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